作为一种真空获得设备,分子真空泵(以下简称分子泵)因其工作稳定可靠,在分子流态下具有很好的抽气效率,慢慢的变成了清洁高真空、超高真空应用领域的主流设备,在科学仪器、工业生产里得到普遍应用。
在进入21世纪之前,分子泵主要存在于科研与国防军工领域。近十年间,随着镀膜、节能灯、显示屏等新兴起的产业的兴起,分子泵逐渐在民用领域崭露头角并取得了加快速度进行发展2。尤其是半导体产业国产化进程的不断推进和新能源锂电池、光伏设备需求量开始上涨,使得国内分子泵行业的市场规模长期处在上涨的趋势。相关机构预测到2026年,中国分子泵行业市场规模将达到31.0亿元。
近几年,分子泵向智能、灵活、高效的方向发展,在传统分子泵基础上,可实现无接触支撑、高效率、高寿命的磁悬浮分子泵等产品获得广泛应用。产品核心技术全力发展的同时,与其配套的产品服务也向着更加专业、经济、高效的人性化方向迈进,这也是市场之间的竞争发展的趋势之一。
分子泵的抽气机理与机械泵靠泵腔容积变化进行抽气的机理不同。分子泵是基于动量传递原理,在变频电源驱动电机的带动下非常快速地旋转,分子流区域内气体分子与高速转动的叶片表面碰撞,动量传递给气体分子,使部分气体分子产生定向流动而被排出泵外,进而达到抽气的目的。
分子泵应用于高真空和超高线Pa),无法在大气压强下直接用,其正常工作需要一定的启动压强(分子泵启动压强一般为0.1~100Pa),通常使用时需要连接低真空泵种作为前级预抽真空泵。分子泵机组是以分子泵为主泵,以旋片泵、涡旋泵为前级泵串联而成的组合真空设备,运行后能迅速使密闭空间获得高真空。
开机检测服务。专业的安装、开机设定、健康检测及日常维护保养培训,确保分子泵及相关设备正常投入使用。
预防性保养服务。专业技术人员到场对设备做保养,现场更换工作液、密封件、易损件及现场点检。如需返厂保养,普发真空会对设备做全面的检查和检测,彻底更换工作液、全面更换密封件和易损件,并提供延保6个月的支持。
设备故障报修服务。服务前普发真空将与客户做沟通,预判故障原因和点位,让现场服务更高效。支持现场更换服务,比如涡轮分子泵可现场更换轴承。若需要返厂维修,普发真空拥有标准交换服务,即可提供一台同型号运行良好的设备,以确保生产的有序进行。
保证以上所有服务都采用原厂的配件和工具并出具相关检测报告,服务执行标准通过全球认证。标准交换服务提供的良品均经过认证,并提供等同质保。