螺杆式真空泵是容积式真空泵中的新式成员，呈现于20世纪90年代前后，开展较晚。但作为一种抱负干泵，螺杆式真空泵在问世后获得了加快速度进行开展。接下来，咱们一同了解一下它的基本知识吧！
螺杆式真空泵脱胎于螺杆式紧缩机与螺杆液体运送泵，是容积式真空泵中一种较为抱负的干式真空泵。
它能供给清洁无油的真空环境，而且对腐蚀性气体、可凝性蒸气、含粉尘颗粒气体有较强适应性。
因此在电子半导体、制药、石化等一些对清洁真空环境要求严厉、气体成分杂乱的职业范畴，螺杆式真空泵备受喜爱，渐渐的变成为传统油封机械泵、液环泵的换代产品。
螺杆式真空泵经过一对非对称螺杆转子的相向运动，来周期性改动齿间容积完成运送气体，到达抽气的意图。它具有以下特色：
1、清洁无油，多相混输，适应性广泛。螺杆式真空泵转子间存在严厉空隙，泵腔内无油，可抽除腐蚀性气体、有毒及含粉尘、可凝性蒸气等杂乱气体。
2、结构简略，动平衡好，牢靠性高。螺杆式真空泵零部件少，核心部件无易损件，也无不平衡惯性力，作业牢靠，寿命长。
4、强制输气，沉痛在宽压力范围内确保较大抽速，排气量简直不受排气压力影响。
螺杆式真空泵一般是双螺杆结构。螺杆式真空泵是经过一对非对称螺杆转子，在泵腔中作同步、高速反向作业，周期性改动齿间容积而发生的吸气和排气效果的抽气设备。
由于是脱胎于螺杆式紧缩机，所以螺杆式真空泵的作业原理也与螺杆式紧缩机相似。咱们以近似的多头型线、吸气进程
图中可见，阳转子按逆时针方向旋转，阴螺杆按顺时针方向旋转。图中上方的转子端面是吸气断面，下方的端面为排气端面。
图中，阳转子沿顺时针方向旋转，阴转子沿逆时针方向旋转。上方的转子端面是吸气断面，下方的端面为排气端面。a、紧缩进程开端
螺杆式真空泵的排气进程。齿间容积与排气孔口连通后，即开端排气进程。跟着齿间容积的不断缩小，具有排气压力的气体逐步经过排气孔口被排出。如图3a所示。这样的一个进程一向继续到齿结尾的型线彻底啮合。此刻，齿间容积内的气体经过排气孔口被彻底排出，关闭的齿间容积的体积变为零。
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