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　　原装爱德华爪式线），排气消声器衰减来自泵的排气压力中的脉冲，并削减排气体系中泵引起的共振。

　　排气消声器适用于半导体使用中常用的一切腐蚀性气体和部分挥发性气体，其规划便于保护。

　　排气消音器的装置必须由通过恰当训练和监督的技术人员进行，当你装置排气消声器时，尤其是当你

　　连接到一个现有的体系时，恪守下面列出的安全程序。详细的安全防备的办法的细节在说明书里面的恰当

　　不会带来制程污染的危险。Drystar真空泵能够与Edwards EH系列机械增压泵结合以进步泵送性能。